Взаимодействие лазерных, электронных и ионных пучков с поверхностью твердых тел: Часть 3. Взаимодействие ионных пучков с поверхностью твердых тел: Курс лекций
Вяткин А.Ф.
В курсе лекций рассматриваются физические процессы, сопровождающие взаимодействие ионных пучков с твердыми телами. Решаются задачи определения пробега ионов в твердых телах и их распределение. Подробно рассматриваются процессы обратного рассеяния ионов, ионной имплантации, распыления твердых тел ионной бомбардировкой. Детально описываются процессы каналирования ионов в монокристаллических твердых телах и использование этого явления для анализа структуры поверхностных слоев монокристаллов. Предназначен для студентов, обучающихся по специальностям 5401, 0709, и 0710.
Rok:
2001
Wydawnictwo:
ЭБС Лань
Język:
russian
Plik:
PDF, 2.41 MB
IPFS:
,
russian, 2001
Litres
Chcesz dodać księgarnię? Skontaktuj się z nami na support@z-lib.do
Konwertuj pliki
Więcej wyników wyszukiwania
Inne korzyści 
